Sensoren (MEMS)

ELMOS stellt mikromechanische Technologien in Bulk- und Dünnfilmtechnik zur Herstellung von Sensorelementen und Sensorsystemen zur Verfügung.

Sensor-Kompetenzen sind:

• Mikroelektronisch mechanische Sensorelemente

• Sensor-Systeme mit co-integrierter Mikroelektronik

• Modernste MEMS Fertigung auf 150 mm Wafern

• MEMS Foundry Service

• Drucksensorik (Nieder- und Hochdruck, absolut und different) für automobile, industrielle und medizinische Anwendungen

• Optische Sensoren

• Beschleunigungssensoren

• Drehratensensoren