Sensorik

MEMS Sensoren (Mikro-Elektronische-Mechanische-Systeme) werden bei unserem Tochterunternehmen Silicon Mircostructures Inc. (SMI) mit Sitz in Kalifornien, USA, entwickelt und produziert. Als Full Service Silicon-Foundry für Standard und kundenspezifische MEMS-Produkte deckt SMI alle Produktions- und Entwicklungsphasen ab: Design, Fertigung, Qualifikation und Kundensupport.

Entwickelt werden neben Drucksensoren auch Sensoren für Beschleunigung und Drehbewegungen.

Die Produktion bei SMI wurde im Jahre 2006 durch moderne Maschinen für die Fertigung von MEMS-Sensoren technisch sowie räumlich erweitert und erneuert. Der größte Vorteil besteht in der Umstellung auf 6-Zoll-Wafer. Damit ist die Produktionskapazität erheblich vergrößert worden und eine Kompatibilität zu der Fertigung in Dortmund gewährleistet.

Die Produktion ist massenproduktionfähig gemäß automobilen Qualitätsstandards.

Seit Ende 2006 werden beispielweise täglich mehr als 40.000 Drucksensoren produziert.

Die Produktion umfasst u.a. folgende Schritte:

Lithographie:

• Einseitig

• Doppelseitig IR Justierung

• Doppelseitige Bild Justierung

• Belichtungs-Stepper

Öfen/Diffusion:

• P+ / N+ / Oxidation

• LPCVD Nitrid

• Stressarmes Poly-Silizium

• PECVD stressarmes Nitrid

Wafer Level Bonding:

• Multiple Anodic Bond gage and absolute Stations

• Fusion Bonding

• Metall/Metall Bond

• Polymer Bond