센서(MEMS)

ELMOS는 센서와 센서 시스템 제조에 필요한 박막 공학 및 micro-mechanical 기술을 함께 제공합니다.

센서 분야에서의 ELMOS의 강점은 아래와 같습니다.

• Micro-electronical 센서

• Micro-electronics가 집적된 센서 시스템

• 100mm (4") 및 150mm (6") Wafer의 최신 MEMS 생산

• MEMS 파운드리 서비스

• 자동차, 산업 및 의료 애플리케이션용 압력 센서(저압 및 고압, 절대 및 차동)

• 광학 센서

• 가속 센서

• 회전 속도 센서