Co-Integrated 압력 센서
센서(MEMS)
미니 센서 SM5108 및 SM5420
SM5108은 에지 길이가 0.65mm인 초소형 압저항형 절대 압력 센서입니다. 이 센서는 bare die 및 SO8 표준 패키지의 형태(SM5420)로 제공 가능합니다. 이 작은 사이즈의 센서는 ASIC과 함께 SiP(System-in-Package)라는 탁월한 조합을 이룹니다. ELMOS는 이 센서 제품의 생산을 위해 DRIE라는 기술을 채택했습니다. 제품은 die로는 1bar ~ 10ba, SO8 패키지 종류로 1bar ~ 6.7bar 등 모든 유형의 압력 범위를 커버합니다. 해당 컴포넌트는 손상 없이 압력 범위의 최대 f배까지 견딥니다.
Assembly
광전자(HALIOS®)
 
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