MEMS 센서

Silicon Microstructures, Inc.(SMI)는 자동차, 의료 및 산업용 애플리케이션에 사용하는 정밀 실리콘 센서와 마이크로전자기계시스템(MEMS)을 판매합니다.

ELMOS 센서 전문기업인 SMI는 이 같은 첨단 실리콘 기반 MEMS 센서 제품을 다양한 애플리케이션에 쉽게 통합할 수 있도록 표준 패키지 및 bare die 형태로 제공합니다.
다.

표준 공정에 기초한 생산은 높은 integration 수준과 결합되어 뛰어난 정확도를 지원함과 동시에 OEM 고객에게 상당한 비용 절감 효과를 제공합니다. 제시합니다.

SMI는 표준 및 고객별 MEMS 제품의 풀서비스 실리콘 주조 기업으로서 설계, 생산, 테스트, 심사 및 고객 지원 등 제품 개발의 모든 단계를 커버합니다. 압력 센서 생산 외에, SMI는 극초소형 카테터 센서, 장력 센서, 습도 센서, 가속도계 구조물 및 정밀 콘덴서 같은 폭넓고 다양한 MEMS 구조물에 관한 수준 높은 전문성을 보유하고 있습니다.

압력 센서

완전한 실리콘 압력 센서 제품군을 제공하는 SMI는 저압(10 mbar / 0.15 psi 풀 스케일) 제품을 전문으로 합니다. 다수의 OEM 업체들은 저압 die 및 패키지형 센서를 안정적으로 대량 공급하는 업체로서 SMI을 신뢰합니다. SMI는 압력 센서를 die 형태와 전자식 교정을 지원하는 새로운 전증폭 장치를 포함한 다양한 패키지로 제공합니다. SMI는 현재 웨이퍼 하나에서 25,000개 die의 수율로 초소형 압력 센서 셀과 디지털 신호 보정과 디지털 및 아날로그 인터페이스를 지원하는 co-integration 센서도 제공하고 있습니다. 센서 die 제품은 블루 호일에서 정밀하게 조사하고, 자르고, 테스트하고, 검사하고, 매핑하고, 출고합니다.다.

포장된 부품은 조립 후에 추가 테스트를 거쳐 IC 튜브나 테이프 및 릴에 넣어 출고됩니다.

SMI 제품 포트폴리오

OEM용 대용량 압력 센서
보상 제품 및 미보상 제품
최고 5,000 psi(340 mbar)의 완전한 풀스케일 압력 die 제품군
최저 0.15 psi(10 mbar) 풀스케일까지 지원하는 저압 시리즈
웨이퍼 하나를 25,000개의 die로 만든 초소형 die 시리즈
부식성 환경을 위한 후면 엔트리 또는 희귀 금속
증폭 및 보정 기능이 칩에 내장된 co-integration 압력 센서

SMI의 역량

6” MEMS 벌크 및 표면 미세가공
ISO 9001 및 ISO/TS 16949 인증을 획득한 제조 라인에서 양산
6’’ wafer에 표준 CMOS와 표준 MEMS 공정을 결함
표준 제품의 고객별 주문형 제작 (customization)

자동차 애플리케이션

측면 에어백 충돌 감지
원격 타이어 공기압 모니터링
엔진 제어 (다기관 절대 압력, MAP)
연료 탱크 증기 압력 모니터링
배기 가스 압력 모니터링

산업용 애플리케이션

HVAC(냉난방환기) 및 VAV 조절 장치
I/P 및 P/I 컨버터
일반 기기

의료 애플리케이션

일반 기기
인공 호흡 장치, 인공 호흡기, 산소발생기
생체 신호 (Vital signs) 모니터링
기류 애플리케이션
혈압 및 유압

일반 애플리케이션

가전 기기 및 백색 가전
SCUBA 다이브 컴퓨터 및 조절기
고도계

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