センサー (MEMS)

ELMOSは現在、センサーエレメントやセンサーシステムの生産で必要となる、バルクおよび薄膜エンジニアリングにおけるマイクロメカニカルテクノロジーを提供しています

センサー分野における専門分野は、下記のとおりです:

• マイクロエレクトロニクスメカニカル・センサーエレメント

• 融合型マイクロエレクトロニクスによるセンサーシステム

• 100および150 mm ウェーハ (4インチおよび6インチ) 上での最新MEMS生産

• MEMS製造サービス

• 自動車、産業および医療用とした圧力センサー (低圧および高圧、絶対圧および差圧)

• 光センサー

• 加速センサー

• 回転率センサー