融合型圧力センサー
センサー (MEMS)
ミニセンサーSM5108およびSM5420
SM5108は、エッジ長さ0.65mmの非常にコンパクトなピエゾ抵抗絶対圧センサーです。ベアダイ、またはSO8パッケージのスタンダートバリエーション (SM5420) として納入可能です。コンパクト性から、このセンサーとASICでSiPとして優れた組み合わせとなります。センサーの生産にあたって、当社ではいわゆるDRIEテクノロジーを採用しています。この製品は、ベアダイとして1~10 bar、またSO8パッケージバリエーションとして1~6.7 barといった圧力範囲のあらゆる種類を網羅しています。コンポーネントには、破損することなく圧力範囲のf倍までの耐久性があります。
アセンブリー
光エレクトロニクス (HALIOS)
 
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