MEMSのセンサー

Silicon Microstructures, Inc. (SMI) は、精密なシリコンのセンサー及び自動車、医療、工業用アプリケーション用のMicro- Electro- Mechanical Systems (MEMS)を提供しています。

ELMOSのセンサーのスペシャリストであるSMI は、多様なアプリケーションに容易に統合できる、標準パッケージ及びベアダイでこれらの先進的なシリコンをベースにしたMEMS のセンサー製品を提供しています。

標準的なプロセスをベースにした製造は、統合の高レベルと合わせて、秀でた精度を可能にし、また同時に、OEMのお客様に大幅な経費節約をもたらします。

標準的及び顧客特定のMEMSの製品の包括的サービスを提供する製造工場として、SMI は、設計、製造、テスト、検証、及び顧客サポートといったすべての製品開発の段階を網羅します。圧力センサー製造の傍ら、SMI は、超小型カテーテル・センサー、歪みセンサー、湿度センサー、加速度計のストラクチャー、及び精密容量デバイスのような多様なMEMSのストラクチャーで専門的知識を持っています。

圧力センサー

フルレンジのシリコン圧力センサーを提供する事、SMIは、低い圧力(10mbar / 0.15 psi　フルスケール）製品を専門としています。多数のOEMが、低い圧力のダイ及びパッケージングされたセンサーの信頼性のある高い数量のサプライヤーとしてSMIに依存しています。SMIは、ダイの状態及び新しく電子較正と共に完全に増幅されたデバイスを含む様々なパッケージ及びダイ状態での圧力センサーを出荷しています。SMI は現在、ウェファー当たり25,000個のチップを生み出す超小型の圧力センサーセル、及びデジタル・シグナルの修正、デジタルとアナログのインターフェースと共に共同統合されたセンサーをも提供しています。センサーダイ製品は、精査、テスト、検査、マップされ、ブルーのホイルに包んで出荷されます。

パッケージングされた部品は、組立の後で再度テストされ、ICのチューブやテープとリールという形で出荷されます。

SMI 製品の製品群

OEM 向けのHigh-Volumeの圧力センサー
補償及び非補償
5,000 psi (340 mbar) フルスケールまでの圧力ダイのフルレンジ
0.15 psi (10 mbar) までのフルスケールの低い圧力シリーズ
ウェファー１枚当たり25,000 個のダイでの超小型チップのシリーズ
腐食環境に対する後方エントリーまたは貴金属
チップ上の増幅とキャリブレーションを伴う共同集積された圧力センサー

SMI の能力

6” MEMS のバルクと表面のマイクロ・マシンニング

ISO 9001とISO/TS 16949の認証を受けた生産ラインにおける大量生産
6’’における標準的なMEMS及び標準的なCMOSのプロセスの組み合わせ
標準的な製品のカスタマイズ

自動車のアプリケーション

サイド・エアバッグの衝突探知
リモート・タイア圧力モニターリング
エンジン・コントロール(分枝管における絶対圧力＝MAP)
燃料タンクの蒸気圧のモニターリング
排気圧のモニターリング

工業向けアプリケーション

暖房・換気・空調(HVAC)及びVAVコントローラー
I/P 及び P/I のコンバーター
一般的な器具類

医療向けアプリケーション

一般的な器具類
人工呼吸器、通風機、酸素濃縮器
生命サインモニター
空気の流れのアプリケーション
血圧と液圧

一般向けアプリケーション

家庭用電気製品や白物家電
SCUBA ダイビングのコンピューター及びレギュレーター
高度計

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