MEMS 传感器

硅微结构公司（SMI）提供的精密传感器和硅微机电系统（MEMS）产品应用于汽车、医疗和工业等领域。

作为 ELMOS 传感器领域的专家，SMI 致力于提供各类先进的硅基 MEMS 传感器。我们的产品包括裸片和标准封装产品两种形式，均易集成至各种应用方案中。

通过将标准的制造流程与产品的高集成度相结合，我们提供的产品精度更高，还可使OEM 客户大幅度降低成本。

SMI 供应标准化及定制化的 MEMS 产品，并提供全面服务，范围涵盖产品开发的所有阶段：设计、制造、测试、认证和客户支持。除了制造压力传感器外，SMI 在各类 MEMS 结构，如超微型导管传感器、应变传感器、湿度传感器、加速度计结构、设备和精密电容等领域都拥有丰富的专业知识。

压力传感器

作为一家专注于提供低压（10 毫巴/0.15 psi 满标值）产品的公司，SMI 生产和供应一系列品种齐全的硅压力传感器。对许多 OEM 制造商客户而言，SIM 是低压传感器裸片和封装产品的可靠供应商，可向他们大批量供货： SMI 出售各类裸片及多种封装形式的压力传感器，其中包括新型的、带电子校准功能的全面放大装置。目前，SMI 还提供超小型压力传感器单元。在该产品中，每一晶片可产出 25,000 片裸片。此外，SIM 还供应具有数字信号校正功能和数字及模拟接口的集成式传感器。在发货前，我们会对传感器裸片产品进行检查、切块、测试、检查、映射，并使用蓝色铝箔包装。

另外，在封装后，我们会对封装型的组件进行额外测试，并以集成电路管，或磁带和卷轴的方式包装后出货。

SMI 产品组合

供 OEM 厂商使用的大容量压力传感器
补偿型和非补偿型产品
高达 5000 psi（340 毫巴）满标值的全系列压力传感器裸片
最低可实现 0.15 psi（10 毫巴）满标值的低压系列产品
超小型裸片系列产品，每一晶片可用于生产 25,000 片此类裸片。
适用于腐蚀性环境的背面入口或贵金属
其芯片具有放大和校准功能的集成式压力传感器

SMI 的能力

对6“ 微机电系统 (MEMS) 进行表面微机机械加工
在经 ISO9001 和 ISO/TS16949 认证的生产线上进行定量生产
在6“ 上结合了标准 CMOS 和标准 MEMS 的程序
为用户量身定制标准产品

汽车领域的应用

侧面安全气囊的碰撞检测
轮胎压力的远程监测
发动机控制（歧管绝对压力，MAP）油箱蒸气压力的监测
油缸蒸汽压力检测
排气压力监测

工业领域的应用

供暖、通风和空调 (HVAC）及变风量控制器
I/P 和P/I 转换器
一般仪器仪表

医疗领域的应用

一般仪器仪表
防毒面罩、呼吸机、制氧机
生命体征监测
气流应用
测量血液和液体压力

一般应用

家用电器和白色家电
潜水电脑及调节器
高度计

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